• <tt id="c4ccc"><rt id="c4ccc"></rt></tt>
  • <li id="c4ccc"></li>
    <table id="c4ccc"><blockquote id="c4ccc"></blockquote></table>
    <table id="c4ccc"><noscript id="c4ccc"></noscript></table>
  • <li id="c4ccc"><table id="c4ccc"></table></li>
    <li id="c4ccc"></li>
  • 設為首頁(yè)添加收藏

    您好! 歡迎來(lái)到淄博順誠化工有限公司

    微信
    掃碼關(guān)注官方微信
    電話(huà):13371581397,13345211911

    您的位置:首頁(yè)>>公司新聞
    公司新聞
    公司新聞

    SF6的結構

    發(fā)布日期:2024-04-18 16:41:09 來(lái)源: 本站 閱讀量129


    SF6是干法刻蝕中常見(jiàn)的刻蝕氣體,我們知道二氧化碳是一種導致全球變暖的溫室氣體,但是SF6氣體對于全球變暖的影響是二氧化碳的數千倍,那么SF6在干法刻蝕有什么作用呢?在使用中有哪些需要注意的事項嗎?

    SF6的結構

    SF6,六氟化硫。在其分子結構中,硫原子位于中心,六個(gè)氟原子均勻分布在其周?chē)?,形成一個(gè)八面體的結構。這種對稱(chēng)的八面體結構使得SF?分子具有非常低的極性,這也是其在高壓電氣設備中,作為絕緣氣體的原因之一。

    SF6的性質(zhì)

    物理性質(zhì)

    無(wú)色、無(wú)味、不易燃、無(wú)毒、絕緣,比空氣重,可用于冷卻氣體,具有高介電強度和熱穩定性,難溶于水,但易溶于非極性有機溶劑。

    化學(xué)性質(zhì)

    1,SF?是一個(gè)非常穩定的化合物,在常溫下幾乎不與其他化學(xué)物質(zhì)反應;

    2,在強紫外光的照射下,SF?會(huì )分解;

    3,是人類(lèi)已知的最強大的溫室氣體。

    SF6的應用?

    半導體制程中的應用

    1,最著(zhù)名的應用SF6進(jìn)行硅刻蝕的工藝是Bosch工藝,詳見(jiàn)之前的文章:

    什么是干法刻蝕的Bosch工藝?

    其中SF6作為硅的刻蝕氣體,生成可揮發(fā)氣體SF4,C4F8作為硅的保護氣體,刻蝕與保護不斷循環(huán)而進(jìn)行深硅刻蝕。

    2, SF?常用于Mo,W這兩種金屬的干法刻蝕,因為SF6可以與它們反應生成揮發(fā)性的六氟化物:MoF?和WF?。方程式為:

    SF6+W-->WF6+S

    SF6+Mo-->MoF6+S

    3,盡管SF?不是刻蝕鋁的首選氣體,但在與Cl?這類(lèi)氣體混合時(shí),SF?可以作為一個(gè)輔助氣體來(lái)增強刻蝕速率。

    電子電氣中的應用

    主要用作各種高壓電氣和電子設備的絕緣介質(zhì),例如斷路器、開(kāi)關(guān)裝置和粒子加速器等

    SF6氣體如何制???

    SF6一般是由工業(yè)制取,在自然界中的含量微乎其微。SF6制取的反應方程式為:

    2 CoF? + SF? + [Br?] → SF? + 2 CoF? + [Br?]

    當SF?、CoF?和Br?混合在一起并在100°C的溫度下加熱時(shí),它們之間發(fā)生反應。在此反應中,SF?和CoF?的一部分反應,生成了SF?和CoF?。而溴在反應中并沒(méi)有被消耗,它只是作為一個(gè)催化劑的作用。

    SF6有危險嗎?

    SF?雖然在純凈狀態(tài)下是無(wú)毒的,但它會(huì )排擠空氣中的氧氣,在空氣中的體積大于19%即會(huì )導致窒息。因此及時(shí)檢測SF?是否泄漏并采取相應的預防措施,在半導體制程中是非常重要的。




    欧美交换配乱吟粗大,久久午夜羞羞影院免费观看,福利姬液液酱喷水网站在线观看,欧美成人免费观看在线看